[发明专利]一种能显影出倒梯形形貌的正性光刻胶、其制备方法及其用途在审
| 申请号： | 202211593291.0 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN115933334A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 陈志成;晏凯;杨遇春;庄晓威 | 申请（专利权）人： | 深圳市容大感光科技股份有限公司;惠州市容大感光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/038;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 张国庆;钟守期 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种正性感光性树脂组合物，(A)线性酚醛树脂5‑40重量份，(B)重氮萘醌型光引发剂1‑20份，(C)助剂0.05‑3重量份，(D)溶剂30‑80重量份，均基于组合物的总重量为100重量份计。还涉及使正性感光性树脂组合物显影出倒梯形形貌的方法，其包括以下步骤：(i)提供正性感光性树脂组合物；(ii)将(i)中的正性感光性树脂组合物涂覆于基材上，形成0.5‑2.5μm厚的膜，将基板优选通过热板进行预烘烤；(iii)将(ii)中预烘烤后的膜使用射线通过掩膜进行部分照射；(iv)将(iii)中照射的膜在含有表面活性剂的显影液中显影。以及本发明的树脂组合物用于制备金属电极的用途。本发明的正性感光性树脂组合物能够显影出倒梯形形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 梯形 形貌 光刻 制备 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
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