[发明专利]一种能显影出倒梯形形貌的正性光刻胶、其制备方法及其用途

说明书

本发明涉及一种正性感光性树脂组合物，(A)线性酚醛树脂5‑40重量份，(B)重氮萘醌型光引发剂1‑20份，(C)助剂0.05‑3重量份，(D)溶剂30‑80重量份，均基于组合物的总重量为100重量份计。还涉及使正性感光性树脂组合物显影出倒梯形形貌的方法，其包括以下步骤：(i)提供正性感光性树脂组合物；(ii)将(i)中的正性感光性树脂组合物涂覆于基材上，形成0.5‑2.5μm厚的膜，将基板优选通过热板进行预烘烤；(iii)将(ii)中预烘烤后的膜使用射线通过掩膜进行部分照射；(iv)将(iii)中照射的膜在含有表面活性剂的显影液中显影。以及本发明的树脂组合物用于制备金属电极的用途。本发明的正性感光性树脂组合物能够显影出倒梯形形貌。

技术领域

本发明涉及一种正性光刻胶，更具体而言该正性光刻胶在显影后能够呈现倒梯形形貌、其制备方法及其用途。

背景技术

在微电子器件制造领域，光刻胶(也可称为“感光性树脂组合物”)是实现图形从掩膜板到基片转移的关键功能材料。其应用工艺如下：首先将光刻胶涂布到基板上，然后进行预烘烤除去光刻胶中的溶剂，接着用特定波长的光源透过掩膜板照射到光刻胶上，被曝光的区域发生化学反应，改变其在显影液中的溶解速率，然后通过显影得到相应的图形。但是不同类型的光刻胶显影后的形貌会存在很大不同。通常正性光刻胶显影出的形貌为正梯形，负性光刻胶显影出倒梯形。发光二极管(LED)电极制作过程中常用剥离(lift-off)工艺，常用负性光刻胶来形成倒梯形形貌，这样方便蒸镀金属后可通过撕去蓝膜以去胶。

由于负性光刻胶本身不稳定，很容易产生暗反应，需要低温储存、运输。且该类型光刻胶原材料较贵，生产成本高。且负性光刻胶在使用过程，工艺更复杂一点，特别需要曝光后烘烤(PEB，post exposure bake)制程。通过负性光刻胶显影出的线宽及形貌受温度波动影响很大，使用工艺窗口很窄。而使用正性光刻胶却不存在上述诸多问题。但是正性光刻胶很难做出倒梯形形貌。

因为在使用正性光刻胶的剥离工艺过程中，由于正性光刻胶本身的性质对光有吸收作用，在曝光过程中，正性光刻胶内部从表层到底层得到的光能量逐渐减少，导致显影速度从表到里逐渐降低，使光刻胶在显影后侧壁上窄下宽，有一定的斜坡，因此正性光刻胶显影后形成正梯形形貌。在金属淀积过程中，金属粒子会淀积到斜坡上，光刻胶被金属完全覆盖。在去除光刻胶时剥离不干净，增加剥离难度。

因此需要一种成本低，化学性能稳定，不易发生暗反应，而且能够显影出倒梯形形貌的光刻胶或一种能够显影出倒梯形形貌的方法。

发明内容

为了解决上述问题，发明人惊奇地发现通过使用感度高的正性感光性树脂组合物同时在显影液中加入表面活性剂，可以使本发明的感光性树脂组合物显影出倒梯形形貌。

在一方面，本发明提供一种能够显影出倒梯形形貌的正性感光性树脂组合物，其包括：

(A)线性酚醛树脂5-40重量份，优选为20-35重量份，更优选为30-35重量份，份，

(B)重氮萘醌型光引发剂1-20份，优选为3-15重量份，更优选为3-5重量份，

(C)助剂0.05-3份，

(D)溶剂30-80份，

其中组分(A)至组分(D)基于正性感光性树脂组合物的总重量为100重量份计。

在另一方面，本发明还提供使上述正性感光性树脂组合物显影出倒

梯形形貌的方法，其包括以下步骤：

(i)提供上述正性感光性树脂组合物；

(ii)将(i)中的正性感光性树脂组合物涂覆于基材上，形成0.5-2.5μm厚的膜，将基板优选通过热板进行预烘烤；

(iii)将(ii)中预烘烤后的膜使用射线通过掩膜进行部分照射；