[发明专利]一种能显影出倒梯形形貌的正性光刻胶、其制备方法及其用途

权利要求书

1.一种正性感光性树脂组合物，其包括：

(A)线性酚醛树脂5-40重量份，优选为20-35重量份，更优选为30-35重量份，

(B)重氮萘醌型光引发剂1-20份，优选为3-15重量份，更优选为3-5重量份，

(C)助剂0.05-3重量份，

(D)溶剂30-80重量份，

组分(A)至(D)均基于正性感光性树脂组合物的总重量为100重量份计。

2.根据权利要求1所述的正性感光性树脂混合物，其中所述酚醛树脂的重均分子量为2500-5000，优选为3000-5000，更优选为3500-4000。

3.根据权利要求1或2所述的正性感光性树脂组合物，其中所述线性酚醛树脂选自邻甲酚型酚醛树脂、间甲酚型酚醛树脂或对甲酚型酚醛树脂或其混合物，优选为间甲酚：对甲酚＝40：60的混合物与甲醛进行缩合反应得到的线性酚醛树脂；重氮萘醌型光引发剂优选为为2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮/或2,3,4-三羟基二苯甲酮与2-叠氮-1-萘酚-5-磺酰氯和/或与2-叠氮-1-萘酚-4-磺酰氯取代反应的产物，优选使用2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮与2-叠氮-1-萘酚-5-磺酰氯取代反应且酯化度为0.75的重氮萘醌型光引发剂。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的正性感光性树脂组合物，其中所述线性酚醛树脂与重氮萘醌型光引发剂的用量比为1-15:1，优选为5-12:1，更优选为6-11:1。

5.一种使正性感光性树脂组合物图形化的方法，其包括以下步骤：

(i)提供根据权利要求1至4中任一项所述的正性感光性树脂组合物；

(ii)将(i)中的正性感光性树脂组合物涂覆于基材上，形成0.5-2.5μm厚的膜，将基板优选通过热板进行预烘烤；

(iii)将(ii)中预烘烤后的膜使用射线通过掩膜进行部分照射；

(iv)将(iii)中照射的膜在含有表面活性剂的显影液中显影。

6.根据权利要求5所述的使正性感光性树脂组合物图形化的方法，其中所述正性感光性树脂组合物在显影后呈现倒梯形剖面。

7.根据权利要求5或6所述的使正性感光性树脂组合物图形化的方法，其中所述照射射线的能量为10-100mJ/cm²，优选为15-100mJ/cm²，更优选为15-25mJ/cm²，更优选使用能量为10mJ/cm²的射线照射1至10秒，更优选1.5至2.5秒。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的使正性感光性树脂组合物图形化的方法，其中所述显影液中的表面活性剂选自有机硅型、丙烯酸型和含氟表面活性剂或其混合物，优选为有机硅型，其用量为0.1重量％至1重量％，基于显影液的总重量计。

9.根据权利要求8所述的使正性感光性树脂组合物图形化的方法，其中所述显影液中的表面活性剂用量为0.1重量％至0.2重量％，基于显影液的总重量计。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的正性感光性树脂组合物在LED生产中用于制备金属电极的用途。