[发明专利]一种异质结太阳能电池的制备方法在审
申请号: | 202211554339.7 | 申请日: | 2022-12-05 |
公开(公告)号: | CN115911190A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 周子超;叶圣桥;宿世超;李世岚;田宏波;王伟;宫元波;谢明;刘军;李剑;范晓波;吴莉娟;孙林 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团新能源科技有限公司;国家电投集团江西电力有限公司新昌发电分公司 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;H01L31/0224;H01L31/0216 |
代理公司: | 南昌大牛知识产权代理事务所(普通合伙) 36135 | 代理人: | 魏威 |
地址: | 330000 江西省南昌市高新技术*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明提供一种异质结太阳能电池的制备方法,具体包括:选用正背面已沉积透明导电薄膜层的太阳能电池片;在PVD或RDP载板夹具上放置mask图形模板,其中mask图形模板上切割或者刻蚀有若干闭合实线区域,通过PVD或RPD等方法在沉积透明导电薄膜层后的N型晶硅衬底的背面依次沉积高导电层和抗氧化保护层栅线,高导电层采用铜金属;所述抗氧化保护层为锡、银、铝、钛、铬、镍等金属及其合金或导电的氧化物和氮化物;在背面已沉积抗氧化保护层的N型晶硅衬底的背面再沉积第二层透明导电薄膜层,本发明通过增加第二层透明导电薄膜层,增加了高导电层与第二层透明导电薄膜层之间的接触面积,从而增加了结合力,避免脱栅的情况发生。 | ||
搜索关键词: | 一种 异质结 太阳能电池 制备 方法 | ||
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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