[发明专利]一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置有效
| 申请号： | 202211454260.7 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN115493523B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;朱琳琳;程威盛;刘现磊 | 申请（专利权）人： | 三代光学科技(天津)有限公司;天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张海洋 |
| 地址： | 300458 天津市滨海新区高*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆检测领域，尤其涉及一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置，所述一种晶圆表面三维形貌高速测量方法包括：利用光学测量模块对应的光幕线投射至待测晶圆后，采集待测晶圆的表面反射光条数据解算得到与当前光幕线对应的XZ坐标值，利用所述XZ坐标值作为二维测量数据；采集待测晶圆不同回转角度的二维测量数据后得到当前回转半径的待测晶圆初始三维形貌信息，利用所述待测晶圆初始三维形貌信息基于圆柱坐标系转换后，进行拼接处理得到待测晶圆表面三维形貌信息，有效解决晶圆表面三维形貌高精度完整扫描测量难题，软硬件方面自动化集成度高，可实现离线晶圆表面三维形貌批量测量，也可以集成到产线实现在线晶圆表面三维形貌高速检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 三维 形貌 高速 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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