[发明专利]一种用于监测晶线的生长的监测系统和监测方法在审
申请号: | 202211435922.6 | 申请日: | 2022-11-16 |
公开(公告)号: | CN115717268A | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
发明(设计)人: | 杨文武 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人: | 姚勇政;沈寒酉 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种用于监测晶线的生长的监测系统和监测方法,所述监测系统包括:数据获取单元,用于获取正被拉制的晶棒上生长出的晶线的实时状态信息;判定单元,用于将所述实时状态信息与正常状态信息进行对比,并且当所述实时状态信息与所述正常状态信息不一致时判定所述晶线的生长出现异常,其中,所述正常状态信息为所述晶棒满足品质要求时生长出的晶线的状态信息并且与所述实时状态信息的属性相同,报警单元,用于当所述判定单元判定出所述晶线的生长出现异常时发出晶线异常警报,以对所述晶棒的拉制操作进行干涉。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 监测 生长 系统 方法 | ||
【主权项】:
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