[发明专利]一种半导体陶瓷部件清洗装置及其清洗工艺有效
| 申请号： | 202211381875.1 | 申请日： | 2022-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN115518937B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 李斐;夏礼飞;孙德付;王益宝;陈磊;张高伟 | 申请（专利权）人： | 合肥升滕半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B7/00;B08B3/04;B08B3/12 |
| 代理公司： | 深圳科润知识产权代理事务所(普通合伙) 44724 | 代理人： | 周晓菊 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥市新站*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种半导体陶瓷部件清洗装置及其清洗工艺，装置包括：超声清洗槽、移动板、环形喷气管、弧形喷水管、电热丝，工艺包括：S1、碱液浸泡；S2、一次热水浸泡；S3、喷砂作业；S4、化学浸泡；S5、二次热水浸泡；S6、过硫酸铵浸泡；S7、三次热水浸泡；S8、混酸浸渍；S9、四次热水浸泡；S10、一次超声清洗；S11、高压冲洗；S12、二次超声精洗；S13、N2吹拭；S14、真空干燥。本发明能够代替人工对半导体陶瓷部件进行高效稳定的清洗，并能够通过多种清洗方式依次进行清洗，不需要人工参与即可完成，整体清洗效率高，操作便捷，整个过程不需要人工参与，具有较强的实用性；清洗后的半导体陶瓷件质量并不会降低，延长其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 陶瓷 部件 清洗 装置 及其 工艺 | ||
【主权项】：
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