[发明专利]一种制备碳化硅晶体用分隔式保温方法在审
| 申请号： | 202211338658.4 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN115637497A | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 管家辉;杨振华;杨阳 | 申请（专利权）人： | 无锡上机数控股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 张燕平 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备碳化硅晶体用分隔式保温方法，属于炭黑检测领域，一种制备碳化硅晶体用分隔式保温方法，包括以下步骤：S1：将生长后的碳化硅晶体放置在坩埚内；S2：利用保温模块进行保温；S3：采用测温模块对碳化硅晶体温度实时监测；S4：通过控制单元对碳化硅晶体控温，所述S1中，将生长后的碳化硅晶体依次码放在坩埚中，晶体与坩埚埚壁之间保留间隙，且间隙距离保持在2‑5cm；每层晶体之间采用耐热高分子材料(聚酰亚胺)进行分隔，它可以实现，根据坩埚内部温度变化，自动调整温度升降，大大节省了电能损耗，同时可远程监测控制坩埚内部温度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 碳化硅 晶体 分隔 保温 方法 | ||
【主权项】：
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