[发明专利]一种铝钪合金靶材及其制备方法和应用在审
申请号: | 202211326295.2 | 申请日: | 2022-10-25 |
公开(公告)号: | CN115537746A | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | 张雪凤;李帅方;李金龙;念雯雯;宁来元 | 申请(专利权)人: | 洛阳丰联科绑定技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;B22F9/04;B22F3/04;B22F1/105;B22F1/103;B22F3/15;C22C21/00;C22C28/00 |
代理公司: | 北京绘聚高科知识产权代理事务所(普通合伙) 11832 | 代理人: | 张春慧 |
地址: | 471000 河南省洛阳市空港产*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种铝钪合金靶材及其制备方法和应用。所述方法将铝粉、钪粉和粘结剂进行混合,造粒后经过真空烧结步骤,再打碎,得到50~150μm的混合粉末,并以此粉末为原料进行冷等静压处理、预烧和热等静压处理,最后加工得到铝钪合金靶材。该方法对于合金粉末的粒径、以及铝粉和钪粉的比例均没有过多的限制,通过预先加入粘结剂,避免了在烧结过程中金属粉末的氧化,并且以混合粉末的形式进行烧结,减少了烧结过程中可能因为粘结剂的分解造成的内部缺陷,得到的铝钪合金靶材内含氧量少、内部缺陷少、晶粒更细小、致密度高、组织更均匀、纯度高,可用于更高要求的电器元件的制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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