[发明专利]一种铝钪合金靶材及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)、将铝粉、钪粉和粘结剂进行湿法研磨，得到混合浆料；

(b)、将所述混合浆料进行造粒，真空烧结后进行破碎和筛分，得到粒度为50～150μm的混合粉末；

(c)、将所述混合粉末进行冷等静压处理得到坯体；

(d)、将所述坯体进行预烧，将预烧后的所述坯体进行包套，然后进行热等静压处理，得到烧结坯，所述烧结坯经过加工得到所述铝钪合金靶材；

其中，所述热等静压处理的压强为100～200MPa，所述热等静压处理的温度为800～1400℃。

2.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(a)中，以质量份数计，所述铝粉为40～70份，所述钪粉为20～80份。

3.根据权利要求1或2所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(a)中，所述粘结剂包括有机粘结剂，所述有机粘结剂包括聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛、聚乙二醇和丙烯酸乳液中的至少一种；

优选地，所述粘结剂还包括无机粘结剂，所述无机粘结剂包括粘土、膨润土和水玻璃中的至少一种；

优选地，所述粘结剂的添加量为所述铝粉和所述钪粉质量和的5％～7％。

4.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(b)中，所述真空烧结包括：

先在500～600℃下保温0.5～2h，再在800～1000℃下保温0.5～2h。

5.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(c)中，所述冷等静压处理的压力为100～300Mpa，所述冷等静压处理的压力保持时间为3～10min。

6.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(d)中，所述预烧的温度为400～600℃。

7.根据权利要求1所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(d)中，所述热等静压处理的时间为3～10h。

8.根据权利要求1-7任一项所述的铝钪合金靶材的制备方法所制备的铝钪合金靶材。

9.根据权利要求8所述的铝钪合金靶材，其特征在于，所述铝钪合金靶材的纯度≥99.9％，所述铝钪合金靶材的致密度＞99.0％。

10.根据权利要求8或9所述的铝钪合金靶材在制备电子器件中的应用。