[发明专利]一种掩膜版、掩膜版的使用方法及封框胶固化方法在审

专利信息
申请号: 202211270641.X 申请日: 2022-10-14
公开(公告)号: CN115616854A 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 王洋清;杨雪鑫;张千;岳彬;童俊海;庄珍珍;李福顺;周晖;黄骏;陈芸;林忱 申请(专利权)人: 福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G03F1/68 分类号: G03F1/68;G03F1/70
代理公司: 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 代理人: 郑哲琦;吴昊
地址: 350300 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供了一种掩膜版、掩膜版的使用方法及封框胶固化方法,解决了现有UV Mask不能满足多尺寸的要求,增加了开发成本的问题。掩膜版包括:遮光区和开设于所述遮光区的多个透光区;多个透光区由掩膜版的中心向边缘间隔排布;多个透光区为以所述掩膜版的中心为中心的具有不同尺寸的环状区域。掩膜版的使用方法包括:曝光时,分别遮住掩膜版的遮光区和部分透光区,留有目标透光区的第一区域不被遮挡;遮住掩膜版的遮光区和部分透光区,留有目标透光区的第二区域不被遮挡;遮住掩膜版的遮光区和部分透光区,留有目标透光区的第三区域不被遮挡;依次类推,直到完成使用目标透光区所有部位进行曝光为止。封框胶固化方法包括透过掩膜版对封框胶进行曝光。
搜索关键词: 一种 掩膜版 使用方法 封框胶 固化 方法
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