[发明专利]一种掩膜版、掩膜版的使用方法及封框胶固化方法在审
| 申请号： | 202211270641.X | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115616854A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 王洋清;杨雪鑫;张千;岳彬;童俊海;庄珍珍;李福顺;周晖;黄骏;陈芸;林忱 | 申请（专利权）人： | 福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/68 | 分类号： | G03F1/68;G03F1/70 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 郑哲琦;吴昊 |
| 地址： | 350300 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 使用方法 封框胶 固化 方法 | ||
1.一种掩膜版，其特征在于，包括：遮光区和开设于所述遮光区的多个透光区；多个所述透光区由掩膜版的中心向边缘间隔排布；多个所述透光区为以所述掩膜版的中心为中心的具有不同尺寸的环状区域。
2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述透光区域为环状缝隙。
3.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述环状区域包括矩形环状区域，沿所述掩膜版中心向边缘的方向，多个所述透光区域的边长依次增加。
4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述矩形环状区域的角部为圆角。
5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，沿所述掩膜版中心向边缘的方向，多个所述圆角的角度依次增加。
6.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，沿所述掩膜版中心向边缘的方向，所述透光区的宽度依次增加。
7.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述透光区的宽度为1.5mm～5mm。
8.一种掩膜版的使用方法，其特征在于，包括：
遮住权利要求1-7中任意一项所述的掩膜版的遮光区和所述部分透光区，只留有目标透光区的第一区域不被遮挡，并进行曝光；
遮住权利要求1-7中任意一项所述的掩膜版的遮光区和所述部分透光区，只留有目标透光区的第二区域不被遮挡，并进行曝光；
遮住权利要求1-7中任意一项所述的掩膜版的遮光区和所述部分透光区，只留有目标透光区的第三区域不被遮挡，并进行曝光；
依次类推，直到完成使用所述目标透光区的所有部位进行曝光为止。
9.根据权利要求8所述的掩膜版的使用方法，其特征在于，在所述环状区域包括矩形环状区域情况下，所述第一区域、所述第二区域分别为所述矩形环状区域不同方向的边长区域，所述第三区域为所述矩形环状区域的角部区域，所述第三区域分别与所述第一区域、所述第二区域连接。
10.一种封框胶固化方法，其特征在于，透过权利要求1-7中任意一项所述的掩膜版对封框胶进行曝光。
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