[发明专利]基于可移动波导反射镜的MEMS光开关及N×N阵列在审
| 申请号： | 202211240829.X | 申请日： | 2022-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN116299874A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 戴道锌;胡寅鹏;李欢 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/12 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于可移动波导反射镜的MEMS光开关及阵列。包括基底以及置于基底上的光学结构和机械结构；其中光学结构包括固定波导反射镜和可移动波导反射镜，固定波导反射镜固定于基底布置，可移动波导反射镜悬空于基底布置；固定波导反射镜和可移动波导反射镜之间通过一对半折叠弹簧连接，固定波导反射镜和可移动波导反射镜上均设置有亚波长反射面。本发明实现了光路切换的效果，具有带宽范围大、插入损耗低、串扰低、消光比高、制作工艺简单、加工成本低、功耗低、可扩展性强等显著优势。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 移动 波导 反射 mems 开关 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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