[发明专利]砷化铟薄膜的外延层结构、霍尔器件及制备方法在审

专利信息
申请号: 202211220089.3 申请日: 2022-10-08
公开(公告)号: CN115295719A 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 李鑫;朱忻;何渊;吴铭;余泽辉;蔡兴文;万楚华 申请(专利权)人: 苏州矩阵光电有限公司;深圳市赛迈科技有限公司
主分类号: H01L43/06 分类号: H01L43/06;H01L43/04;H01L43/14
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 戚海洋
地址: 215614 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种砷化铟薄膜的外延层结构,涉及化合物半导体的技术领域,包括一砷化镓衬底;一缓冲层,覆盖于所述砷化镓衬底的上表面一砷化铟缓冲结构,覆盖所述缓冲层;一砷化铟功能层,覆盖于所述砷化铟缓冲结构的上表面。解决了现有技术中砷化铟霍尔器件信噪比低的技术问题,达到了在不降低灵敏度的基础上提高信噪比的技术效果。
搜索关键词: 砷化铟 薄膜 外延 结构 霍尔 器件 制备 方法
【主权项】:
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