[发明专利]一种半导体用超纯水制备装置及其工艺

摘要

本发明公开了一种半导体用超纯水制备装置及其工艺，包括依次连接的氮封超纯水箱、输送泵、二级抛光过滤器、树脂捕集器、滤芯式颗粒过滤器以及中空纤维式膜过滤器；所述滤芯式颗粒过滤器包括壳体，以及与壳体可拆式连接的壳盖和壳座，所述壳体、壳盖以及壳座合围形成一个腔体结构，在所述壳座上设有进水管和出水管，在所述腔体结构内插设有过滤芯管；在所述壳体、壳盖与壳座的内侧壁上以及进水管的插入端均涂抹有PVDF膜。本发明设置多个过滤器对超纯水进行过滤处理，并把滤芯式颗粒过滤器设为可拆式连接的分体结构，便于涂抹PVDF膜，也便于及时更换过滤芯管，能有效保证超纯水过滤后的颗粒要求，结构简单紧凑，使用便捷。