[发明专利]电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法有效
| 申请号： | 202211204334.1 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115493082B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 丁勇;杨俊豪;彭元明;傅铸红;陈艳珊;廖恒易;裴友宏;张堃;梁战军;贺蜀光;候振宇;谭建成;汤鲲彪;李權;高超;罗艳;陈文秀;洪敏 | 申请（专利权）人： | 四川红华实业有限公司;广东华特气体股份有限公司 |
| 主分类号： | F17C9/02 | 分类号： | F17C9/02;F17C5/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04 |
| 代理公司： | 北京棋拾知识产权代理事务所(普通合伙) 11863 | 代理人： | 杨雪婷 |
| 地址： | 614000 四川省乐*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法。该系统包括：主管道、一级抽空管道、二级抽空管道和控制模块。通过在主管道的一端设置与其连通的一、二级抽空管道，在一级抽空管道的另一端设置两个相对的在两端具有不同横截面积的开口，先通过在这两个开口中吹入氮气来对主管道中的三氟化氯气体进行清除，再利用二级抽空管道的另一端连接的真空抽吸设备进行高真空度的抽真空处理，通过控制主阀门和供/收料阀门进行三氟化氯气体的供料和收料，大大降低了抽空管路所使用的设备由于三氟化氯气体的高腐蚀性而导致的损坏，提高了三氟化氯气态供料/收料的可靠性，实现了供料/收料流程的自动化，提高了供料/收料流程的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 级别 氟化 供料 系统 方法 | ||
【主权项】：
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