[发明专利]电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法

权利要求书

1.一种电子级别三氟化氯供料系统，包括：主管道、一级抽空管道、二级抽空管道和控制模块，其中，

主管道的一端连接到主阀门，以通过所述主阀门连接到储存有三氟化氯原料的原料容器，并且所述主管道的另一端通过主抽空阀门与所述一级抽空管道和所述二级抽空管道连接并且在连接处彼此连通，所述一级抽空管道和所述二级抽空管道在所述连接处分别设置有一级抽空阀门和二级抽空阀门，所述一级抽空阀门和所述二级抽空阀门分别在其一端连接到所述连接处，并且另一端连接到所述一级抽空阀门和所述二级抽空阀门；

所述一级抽空管道的远离所述连接处的另一端在垂直于所述一级抽空管道的延伸方向的方向上具有彼此相对的第一开口和第二开口，以分别连接到氮气输送管道和尾气排出管道，其中所述第一开口和所述第二开口分别在垂直于所述一级抽空管道的延伸方向的相反方向上延伸并在与所述一级抽空管道的连通处具有第一横截面积以及在远离与所述一级抽空管道的连通处的一端具有第二横截面，所述第一横截面积小于所述第二横截面积；

所述二级抽空管道的远离所述连接处的另一端连接到真空抽吸设备；

所述主管道在所述主阀门与所述主抽空阀门之间连接到供料阀门和充气阀门，以通过所述供料阀门连接到三氟化氯纯化设备，并且通过所述充气阀门连接到提供惰性气体的充气管道，

所述主阀门、所述主抽空阀门、所述一级抽空阀门、所述二级抽空阀门、所述供料阀门和所述充气阀门中的一个或多个具有垂直于管道的延伸方向突起的几字形管路和执行机构，其中，所述执行机构作用于所述几字形管路的突起管道部分的一侧，以使其在所述执行机构的作用下向另一侧移动或远离另一侧移动，

所述控制模块电连接到所述主阀门、所述主抽空阀门、所述一级抽空阀门、所述二级抽空阀门、所述供料阀门和所述充气阀门中的每一个，以向其发送控制信号。

2.根据权利要求1所述的电子级别三氟化氯供料系统，其中，所述系统进一步包括原料台，所述原料台包括加热组件和称重组件，其中，所述称重组件位于原料容器下方，所述加热组件具有环绕所述原料容器的形状，并且所述称重组件和所述加热组件分别电连接到所述控制模块，以将其获得的所述原料容器的质量和温度发送给所述控制模块，并且从所述控制模块接收控制信号。

3.根据权利要求1所述的电子级别三氟化氯供料系统，所述系统进一步包括分别设置所述一级抽空管道、所述主管道、所述二级抽空管道上的一个或多个压力传感器，并且所述控制模块电连接到所述压力传感器，以从其接收压力感测结果。