[发明专利]电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法

说明书

本申请公开了一种电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法。该系统包括：主管道、一级抽空管道、二级抽空管道和控制模块。通过在主管道的一端设置与其连通的一、二级抽空管道，在一级抽空管道的另一端设置两个相对的在两端具有不同横截面积的开口，先通过在这两个开口中吹入氮气来对主管道中的三氟化氯气体进行清除，再利用二级抽空管道的另一端连接的真空抽吸设备进行高真空度的抽真空处理，通过控制主阀门和供/收料阀门进行三氟化氯气体的供料和收料，大大降低了抽空管路所使用的设备由于三氟化氯气体的高腐蚀性而导致的损坏，提高了三氟化氯气态供料/收料的可靠性，实现了供料/收料流程的自动化，提高了供料/收料流程的效率。

技术领域

本申请涉及三氟化氯纯化技术领域，尤其涉及一种电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，对于半导体芯片需求也越来越多，而高纯度三氟化氯气体由于具有强氧化性和高反应活性，因此在半导体、液晶面板等产品制造的清洗环节中得到了广泛应用。特别是三氟化氯气体在室温条件就能够与半导体材料进行反应，因此无需在清洗环节进行加热就可以直接在室温下对例如化学气相沉积腔室进行清洗，但是三氟化氯气体在制备过程中会混入有大量的杂质，这些杂质会严重影响三氟化氯气体的清洗效果。因此，对于三氟化氯气体的纯化效果是确定半导体器件的良率和性能的重要因素之一。

现有技术中，在进行纯化时，通常是将制备的三氟化氯气体进行液化来获得液态三氟化氯，并且将这样获得的液态三氟化氯作为纯化过程的原料气体输入到例如精馏设备中进行纯化。但是液态三氟化氯的液体状态需要保持在较低的温度下，而从原料瓶通过管道输入到精馏设备中的过程中，由于液态三氟化氯原料离开了原料瓶的低温环境而受到环境温度的影响，使其状态发生变化。类似地，在对纯化处理后的三氟化氯气体进行收料时，存在类似的问题。因此，需要一种能够以气态形式进行三氟化氯的供料/收料的技术方案。

发明内容

本申请实施例提供一种电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法，其能够解决现有技术中无法针对气态三氟化氯进行供料和收料的缺陷。

为达到上述目的，本申请实施例提供了一种电子级别三氟化氯供料系统，包括：主管道、一级抽空管道、二级抽空管道和控制模块，其中，

主管道的一端连接到主阀门，以通过所述主阀门连接到储存有三氟化氯原料的原料容器，并且所述主管道的另一端通过主抽空阀门与所述一级抽空管道和所述二级抽空管道连接并且在连接处彼此连通，所述一级抽空管道和所述二级抽空管道在所述连接处分别设置有一级抽空阀门和二级抽空阀门，所述一级抽空阀门和所述二级抽空阀门分别在其一端连接到所述连接处，并且另一端连接到所述一级抽空阀门和所述二级抽空阀门；

所述一级抽空管道的远离所述连接处的另一端在垂直于所述一级抽空管道的延伸方向的方向上具有彼此相对的第一开口和第二开口，以分别连接到氮气输送管道和尾气排出管道，其中所述第一开口和所述第二开口分别在垂直于所述一级抽空管道的延伸方向的相反方向上延伸并在与所述一级抽空管道的连通处具有第一横截面积以及在远离与所述一级抽空管道的连通处的一端具有第二横截面，所述第一横截面积小于所述第二横截面积；

所述二级抽空管道的远离所述连接处的另一端连接到真空抽吸设备；

所述主管道在所述主阀门与所述主抽空阀门之间连接到供料阀门和充气阀门，以通过所述供料阀门连接到三氟化氯纯化设备，并且通过所述充气阀门连接到提供惰性气体的充气管道，

所述主阀门、所述主抽空阀门、所述一级抽空阀门、所述二级抽空阀门、所述供料阀门和所述充气阀门中的一个或多个具有垂直于管道的延伸方向突起的几字形管路和执行机构，其中，所述执行机构作用于所述几字形管路的突起管道部分的一侧，以使其在所述执行机构的作用下向另一侧移动或远离另一侧移动，

所述控制模块电连接到所述主阀门、所述主抽空阀门、所述一级抽空阀门、所述二级抽空阀门、所述供料阀门和所述充气阀门中的每一个，以向其发送控制信号。