[发明专利]一种正性光刻胶组合物在审
| 申请号： | 202211201671.5 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115494696A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 吴世泰;韩冬 | 申请（专利权）人： | 天津汉匠科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 陆艺 |
| 地址： | 300000 天津市武清区武*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种正性光刻胶组合物，该组合物是按质量比为10‑30：100的比例，由固体成分和有机溶剂组成，所述固体成分由重量百分含量为65％‑80％的成膜树脂、19％‑30％的光敏剂和0.001％‑5％表面活性剂组成。本发明的正性光刻胶组合物，应用于现有的曝光设备以及光刻工序(涂胶，曝光和显影)，可以避免在光刻工艺中产生镜头缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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