[发明专利]一种正性光刻胶组合物

权利要求书

1.一种正性光刻胶组合物，其特征是按质量比为10-30：100的比例，由固体成分和有机溶剂组成，所述固体成分由重量百分含量为65％-80％的成膜树脂、19％-30％的光敏剂和0.001％-5％表面活性剂组成。

2.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶组合物，其特征是所述成膜树脂如式I或式II所示：

所述式I或式II中的R1选自H、OH、CH₃、CH₂OH或CH₂CH₂OH；所述R2选自H、OH、CH₃、CH₂OH或CH₂CH₂OH；所述R3选自H、OH、CH₃、CH₂OH或CH₂CH₂OH；所述A_n的重均分子量为2000-20000；B_m的重均分子量为2000-20000；C_p的重均分子量为2000-20000；D_b的重均分子量为2000-20000。

3.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶组合物，其特征是所述光敏剂如式1-式4所示，其中的D如式5或式6所示：

其中：

4.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶组合物，其特征是所述表面活性剂为Si-Type：TEGO 440或F-Type F-560。

5.根据权利要求1所述的一种正性光刻胶组合物，其特征是所述有机溶剂为(2-乙氧基乙基)醋酸酯，(2-甲氧基乙基)醋酸酯，丙二醇甲醚醋酸酯，丙二醇单甲醚，乳酸乙酯和醋酸丁酯中至少一种。