[发明专利]一种溅射钽环件用钽条及其制备方法在审
| 申请号： | 202211199256.0 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115383022A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;李桂鹏;袁玉博 | 申请（专利权）人： | 同创（丽水）特种材料有限公司;丽水元能电子材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | B21J5/00 | 分类号： | B21J5/00;C22F1/18;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 323010 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种溅射钽环件用钽条及其制备方法，所述制备方法包括：将钽锭依次进行预热、锻造、第一热处理、第二热处理、酸洗和第三热处理，得到所述钽条；所述第一热处理的温度高于第二热处理的温度。本发明通过热锻、热轧、热处理及酸洗相结合的方法，且控制第一热处理的温度高于第二热处理的温度，能有效破坏钽锭心部粗大的铸晶组织，使钽条内部晶粒趋向于等轴晶粒，制备的钽条内部晶粒分布均匀、平均晶粒为90‑110μm，保证钽条内部织构的稳定性，满足溅射靶材的要求；所述制备方法无需复杂工艺条件，制备成本较低，适用性广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 钽环件用钽条 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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