[发明专利]处理液供给装置和处理液供给方法在审
| 申请号： | 202211181509.1 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN115945313A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 绪方诚;桥本克也;三坂晋一朗;今村真人;田尻卓也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B12/08 | 分类号： | B05B12/08;B05B15/40;H01L21/027;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供处理液供给装置和处理液供给方法，抑制对向基片释放处理液的释放部供给的处理液的消耗量，并且提高该处理液的清洁度。处理液供给装置包括：与释放部连接的供给管路；供给管路中的向释放部压送处理液的第一泵，其同时进行处理液的吸入和送出；供给管路中的第一泵上游侧的第一开闭阀；供给管路中的过滤器；供给管路中的第一泵下游侧的第二开闭阀；返回管路，其一端从供给管路中的第一泵及过滤器与第二开闭阀之间分支，另一端连接于供给管路中的第一开闭阀的下游侧且第一泵和过滤器的上游侧；返回管路中的向返回管路的一端压送处理液的第二泵；返回管路中的一端与第二泵之间的第三开闭阀；和返回管路中的另一端与第二泵之间的第四开闭阀。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 供给 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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