[发明专利]处理液供给装置和处理液供给方法

权利要求书

1.一种处理液供给装置，其对向基片释放处理液的释放部供给所述处理液，所述处理液供给装置的特征在于，包括：

与所述释放部连接的供给管路；

第一泵，其插设于所述供给管路，能够同时进行所述处理液的吸入和送出，向所述释放部压送所述处理液；

第一开闭阀，其插设于所述供给管路中的所述第一泵的上游侧；

过滤器，其插设于所述供给管路，能够对所述处理液进行过滤；

第二开闭阀，其插设于所述供给管路中的所述第一泵的下游侧；

返回管路，其一端从所述供给管路中的所述第一泵及所述过滤器与所述第二开闭阀之间分支，另一端连接于所述供给管路中的所述第一开闭阀的下游侧且所述第一泵和所述过滤器的上游侧；

第二泵，其插设于所述返回管路，能够向所述返回管路的所述一端压送所述处理液；

第三开闭阀，其插设于所述返回管路中的所述一端与所述第二泵之间；和

第四开闭阀，其插设于所述返回管路中的所述另一端与所述第二泵之间。

2.如权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于：

还包括控制部，所述控制部控制所述第一开闭阀、所述第二开闭阀、所述第三开闭阀、所述第四开闭阀、所述第一泵和所述第二泵。

3.如权利要求2所述的处理液供给装置，其特征在于：

所述控制部控制所述第一开闭阀、所述第二开闭阀、所述第三开闭阀、所述第四开闭阀、所述第一泵和所述第二泵，以使得在从所述释放部释放时，从所述第一泵送出的所述处理液与从所述第二泵向所述返回管路的所述一端送出的所述处理液被混合而供给到所述释放部。

4.如权利要求3所述的处理液供给装置，其特征在于：

所述控制部，在从所述释放部释放时使所述第三开闭阀成为打开状态，之后使所述第二开闭阀成为打开状态。

5.如权利要求2所述的处理液供给装置，其特征在于：

所述返回管路与所述供给管路中的包含所述第一泵和所述过滤器的部分一起构成所述处理液的循环路径，

所述控制部控制所述第一开闭阀、所述第二开闭阀、所述第三开闭阀、所述第四开闭阀、所述第一泵和所述第二泵，以使得在从所述释放部释放时以外的时候，所述处理液在所述循环路径中循环。

6.如权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于：

向多个所述释放部供给所述处理液，

所述供给管路、所述第二开闭阀、所述第三开闭阀和所述返回管路按每个所述释放部设置，

所述供给管路的上游侧合流而形成主供给管路，

所述返回管路的所述另一端侧合流而形成主返回管路，

所述第一开闭阀、所述第一泵和所述过滤器插设于所述主供给管路，

所述第二泵和所述第四开闭阀插设于所述主返回管路。

7.如权利要求6所述的处理液供给装置，其特征在于：

所述返回管路各自与对应的所述供给管路一起构成所述处理液的循环路径。

8.如权利要求6或7所述的处理液供给装置，其特征在于：

在从一个所述释放部释放时，使对应于其他所述释放部的所述第二开闭阀和所述第三开闭阀为关闭状态。

9.如权利要求6所述的处理液供给装置，其特征在于：

从所述第二泵送出的所述处理液的设定流量按每个所述释放部决定。

10.如权利要求1所述的处理液供给装置，其特征在于：

所述释放部与所述第二开闭阀形成为一体。

11.一种处理液供给方法，其使用处理液供给装置对向基片释放处理液的释放部供给所述处理液，所述处理液供给方法的特征在于：

所述处理液供给装置包括：

与所述释放部连接的供给管路；

第一泵，其插设于所述供给管路，能够同时进行所述处理液的吸入和送出，向所述释放部压送所述处理液；

第一开闭阀，其插设于所述供给管路中的所述第一泵的上游侧；

过滤器，其插设于所述供给管路，能够对所述处理液进行过滤；

第二开闭阀，其插设于所述供给管路中的所述第一泵的下游侧；

返回管路，其一端从所述供给管路中的所述第一泵及所述过滤器与所述第二开闭阀之间分支，另一端连接于所述供给管路中的所述第一开闭阀的下游侧且所述第一泵和所述过滤器的上游侧；

第二泵，其插设于所述返回管路，能够向所述返回管路的所述一端压送所述处理液；

第三开闭阀，其插设于所述返回管路中的所述一端与所述第二泵之间；和

第四开闭阀，其插设于所述返回管路中的所述另一端与所述第二泵之间，

所述返回管路与所述供给管路中的包含所述第一泵和所述过滤器的部分一起构成所述处理液的循环路径，

在从所述释放部释放时，将从所述第一泵压送的所述处理液和从所述第二泵向所述返回管路的所述一端压送的所述处理液混合而供给到所述释放部，

在从所述释放部释放时以外的时候，使从所述第一泵压送的所述处理液通过所述第二泵内，在所述循环路径中循环。