[发明专利]一种高韧氮化硅陶瓷材料及其制备方法

摘要

本发明属于陶瓷材料技术领域，提供了一种高韧氮化硅陶瓷材料及其制备方法。本发明通过先对氮化硅进行热处理，使得氮化硅表面包覆一层具有氧化物特性的SiO2膜，促进烧结致密化及提高陶瓷性能，然后将热氧化氮化硅与增强相和烧结助剂制成坯体，其中的烧结助剂用于促进致密化，保证陶瓷材料的硬度，增强相用来提高氮化硅陶瓷材料的韧性，最后采用高温烧结和低温烧结结合的烧结方式，可抑制晶界迁移，并利用晶界扩散使坯体达到致密化，从而保证了陶瓷材料的硬度。实施例的结果显示，本发明提供的制备方法制备的高韧氮化硅陶瓷材料的维氏硬度可达22.7GPa，断裂韧性可达16.7MPa·m1/2。