[发明专利]加工装置在审
| 申请号： | 202211141531.3 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115890933A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 宫田谕 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/78;H01L21/67;B23K26/362 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供加工装置，即使是经验不足的操作者，也容易再现适当的拍摄条件，能够抑制由于不适当的拍摄条件所导致的不合格的多发和加工停止的频发。加工装置的控制单元在检查部判定为按照所设定的光量强度进行了拍摄而得的图像的对比度明确的情况下，将图像作为样本图像而与被加工物的加工条件相关联地进行记录，在检查部判定为按照所设定的光量强度进行了拍摄而得的图像(检查图像(312))的对比度不明确的情况下，将判定为不明确的图像(检查图像(312))和与加工条件相关联地记录的样本图像(322)显示在显示器(70)上，显示出能够对照明的状态进行比较研究的研究画面(321)。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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