[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：

卡盘工作台，其对具有多条分割预定线的被加工物进行保持；以及

加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物沿着该分割预定线进行加工，

其特征在于，

该加工装置具有：

照相机，其具有照明，该照相机对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄；

检查部，其根据对该分割预定线进行了拍摄而得的图像来检测该加工单元所形成的加工痕，并按照规定的检查项目检查该加工痕的状态；

记录部，其按照形成该加工痕的每个加工条件而记录对该加工痕进行拍摄时的该检查部的包含该照明的光量强度的检查条件；

显示器；以及

控制单元，其控制各构成要素，

在该检查部判定为按照所设定的该光量强度进行了拍摄而得的该图像的对比度明确的情况下，该控制单元将该图像作为样本图像而与被加工物的该加工条件相关联地进行记录，

在该检查部判定为按照所设定的该光量强度进行了拍摄而得的该图像的对比度不明确的情况下，该控制单元将判定为不明确的该图像和与该加工条件相关联地记录的该样本图像显示在该显示器上，并显示出能够对该照明的状态进行比较研究的研究画面。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该检查部的检查条件还包含对该加工痕进行拍摄时的设置于该照相机的下方的吹气喷嘴的吹气条件，

该检查部按照所设定的该光量强度和该吹气条件而拍摄该图像。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

该检查部的检查条件还包含对该加工痕进行拍摄时的该照相机距离该被加工物的距离，

该检查部按照所设定的该光量强度和距离该被加工物的距离而拍摄该图像。

4.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该加工单元是在主轴上安装有切削刀具的切削单元或照射激光光线的激光光线照射单元，该加工痕是切削槽或激光加工痕。