[发明专利]一种多波长激光混波照明光路结构在审
| 申请号： | 202211079548.0 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN115356900A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 李文静;章广飞;王运钢;薛业保 | 申请（专利权）人： | 安徽国芯光刻技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 殷娟 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑；每一激光器后部均分别设置有一光棒，所有光棒平行设置；激光器发射出的激光进入本激光器后部的光棒，由所述光棒的出光面照射出的激光照射至所述透镜组；本发明的多波长激光混波照明光路结构，解决现有技术中在光刻时多波长的激光耦合后功率过大导致易损坏光学元件的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 激光 混波照 明光 结构 | ||
【主权项】：
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