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- [发明专利]一种光刻机掩膜台-CN202310846947.3在审
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王运钢;章广飞;薛业保;李文静
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安徽国芯智能装备有限公司
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2023-07-11
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2023-10-24
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G03F7/20
- 本发明公开了一种光刻机掩膜台,涉及光刻机定位工装技术领域,包括可移动的第一对位座和第二对位座,所述第一对位座、第二对位座的相对侧形成可容纳掩模版置入的空间,所述第一对位座、第二对位座的两侧分别通过联动载板相连接。还包括有设置于第一对位座、第二对位座内侧的第一安装板、第二安装板,所述第一安装板远离第二安装板的一端固定连接有随动板。本发明便于取下掩模版,实施掩模版的下料、清洁操作,同时便于更换后的掩膜版重新置入。并且,可减少激光切割工作过程中的热量对顶升单元内部的结构所产生的影响,顶升单元的占用面积和重量,减少惯性作用力,保障了第一对位座、第二对位座的移动过程中的精准度。
- 一种光刻机掩膜台
- [发明专利]一种用于光刻机的对准镜头-CN202210148119.8在审
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李文静;章广飞;王运钢;薛业保
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安徽国芯智能装备有限公司
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2022-02-17
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2022-05-13
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G02B13/00
- 本发明公开了一种用于光刻机的对准镜头,由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成,三组透镜组分别为第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3;第一透镜组G1和第二透镜组G2构成对准标识搜寻镜头,第三透镜组G3和第二透镜组G2构成高倍率镜头,分光镜/分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处;三组透镜组的参数满足关系式F1/F2=B1,F3/F2=B2,其中F1为第一透镜组的焦距,F2为第二透镜组的焦距,F3为第三透镜组的焦距,B1为对准标识搜寻镜头的倍率,B1为高倍率镜头的倍率。本发明结构简单,两组镜头共用第一透镜组,结构得到简化,且两组镜头视场完全同轴;保证高分辨率的同时,能够快速搜寻到对准标识。
- 一种用于光刻对准镜头
- [发明专利]一种用于光刻机的倍率内调镜头-CN202111575713.7在审
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李文静;章广飞;王运钢;薛业保;张波
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安徽国芯智能装备有限公司
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2021-12-21
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2022-03-22
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G02B15/14
- 本发明公开了一种用于光刻机的倍率内调镜头,由四组透镜组组合而成,从左到右依次为第一正透镜组G1、第二正透镜组G2、第三负透镜组G3、第四正透镜组G4,第二正透镜组G2为调节镜组;四组透镜组的参数满足关系式1F1/F34M,其中F1为透镜组G1的焦距,F34为透镜组G3和透镜组G4的组合焦距,M为镜头倍率;四组透镜组的参数满足关系式0F12L1,F1L1,其中L1为物面到第一正透镜组主面的距离,F1为透镜组G1的焦距,F12为透镜组G1和透镜组G2的组合焦距;四组透镜组的参数满足关系式F34L5,F4L5,其中L5为像面到第四透镜组G4主面的距离,F4为透镜组G4的焦距,F34为透镜组G3和透镜组G4的组合焦距。本发明调节方便,仅需将其中一枚镜片(第二正透镜组)沿光轴前后移动即可实现。
- 一种用于光刻倍率镜头
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