[发明专利]一种多波长激光混波照明光路结构在审
申请号: | 202211079548.0 | 申请日: | 2022-09-05 |
公开(公告)号: | CN115356900A | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 李文静;章广飞;王运钢;薛业保 | 申请(专利权)人: | 安徽国芯光刻技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/06 |
代理公司: | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人: | 殷娟 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波长 激光 混波照 明光 结构 | ||
1.一种多波长激光混波照明光路结构,其特征在于,包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组,每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上,并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑;
每一激光器后部均分别设置有一光棒,所有光棒平行设置;激光器发射出的激光进入本激光器后部的光棒,由所述光棒的后截面照射出的激光照射至所述透镜组。
2.根据权利要求1所述的一种多波长激光混波照明光路结构,其特征在于,所有激光器设置方向一致;激光器发射出的激光全部进入本激光器后部的光棒内,且相邻两光棒之间留有间隙。
3.根据权利要求1所述的一种多波长激光混波照明光路结构,其特征在于,所述光棒的后截面和接收面为共轭面。
4.根据权利要求1所述的一种多波长激光混波照明光路结构,其特征在于,所述透镜组包括依次设置且呈平行状的第一透镜组和第二透镜组,所述第一透镜组和第二透镜组的组合焦距为正。
5.根据权利要求1所述的一种多波长激光混波照明光路结构,其特征在于,各个激光器发射出的激光波长不等。
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