[发明专利]一种多波长激光混波照明光路结构

说明书

本发明公开了一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑；每一激光器后部均分别设置有一光棒，所有光棒平行设置；激光器发射出的激光进入本激光器后部的光棒，由所述光棒的出光面照射出的激光照射至所述透镜组；本发明的多波长激光混波照明光路结构，解决现有技术中在光刻时多波长的激光耦合后功率过大导致易损坏光学元件的问题。

技术领域

本发明属于PCB光刻用照明系统领域，更具体的的说涉及一种多波长激光混波照明光路结构。

背景技术

光刻照明系统是PCB光刻机上的核心组件，多种波长耦合的照明光路系统适用性更好。由于传统的接触式曝光机，采用的是传统的卤素灯或者汞灯作为照明光源，因其光谱范围较宽，所以对应的干膜感光范围也较宽，因此传统的干膜用于单一波长的激光，效率不高，且色泽度要差一些。为了将传统干膜用于激光直写曝光机上，需要组合不同波长的激光以达到或接近传统卤素灯或汞灯的光谱范围，常规的办法是将多路不同波长的激光耦合成一束，然后入射到照明光学系统中，由于光照能量过于集中，当激光器总功率非常高时，极易容易损坏光学元件。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多波长激光混波照明光路结构，解决现有技术中在光刻时多波长的激光耦合后功率过大导致易损坏光学元件的问题。

本发明技术方案一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑；

每一激光器后部均分别设置有一光棒，所有光棒平行设置；激光器发射出的激光进入本激光器后部的光棒，由所述光棒的后截面照射出的激光照射至所述透镜组。

优选地，所有激光器设置方向一致；激光器发射出的激光全部进入本激光器后部的光棒内，且相邻两光棒之间留有间隙。

优选地，所述光棒的后截面和接收面为共轭面。

优选地，所述透镜组包括依次设置且呈平行状的第一透镜组和第二透镜组，所述第一透镜组和第二透镜组的组合焦距为正。

优选地，各个激光器发射出的激光波长不等。

本发明技术方案的一种多波长激光混波照明光路结构的有益效果是：各个激光器发射出的激光分别进入独立的光棒内，然后通过透镜组分别照射至曝光面上，在曝光面上形成独立的、均匀的、放大的照明区(光斑)。这样就分散了激光的强度，避免照射至至各光学元件时的激光能量过于集中，避免因激光器总功率过高时，而损坏光学元件的问题。

附图说明

图1为本发明技术方案的一种多波长激光混波照明光路结构示意图。

图2为本发明技术方案中的其中一光棒发射出的光线经过透镜组照射至曝光面上的光斑示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本发明技术方案，现结合说明书附图对本发明技术方案做进一步的说明。

本发明技术方案一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑。各光斑(照明区S1、照明区S2和照明区S3)不相交，这样就分散了激光的强度，避免照射至至各光学元件时的激光能量过于集中，在激光器总功率过高时，激光能量过于集中而损坏光学元件的问题。同时本多波长激光混波照明光路结构的使用，还使得激光总功率可以做到普通混波照明的三倍，极大的提高了曝光面的功率密度，从而进一步提高PCB光刻整体设备的产量。