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[发明专利]一种光刻机掩膜台-CN202310846947.3在审
发明人： 王运钢;章广飞;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机掩膜台，涉及光刻机定位工装技术领域，包括可移动的第一对位座和第二对位座，所述第一对位座、第二对位座的相对侧形成可容纳掩模版置入的空间，所述第一对位座、第二对位座的两侧分别通过联动载板相连接。还包括有设置于第一对位座、第二对位座内侧的第一安装板、第二安装板，所述第一安装板远离第二安装板的一端固定连接有随动板。本发明便于取下掩模版，实施掩模版的下料、清洁操作，同时便于更换后的掩膜版重新置入。并且，可减少激光切割工作过程中的热量对顶升单元内部的结构所产生的影响，顶升单元的占用面积和重量，减少惯性作用力，保障了第一对位座、第二对位座的移动过程中的精准度。
一种光刻机掩膜台

[发明专利]一种直写式光刻机的曝光及图形补偿方法-CN202310846943.5在审
发明人：章广飞;王运钢;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及直写式光刻机，具体涉及一种直写式光刻机的曝光及图形补偿方法，位置移动模块以设定速度驱动平台移动，并将平台位置信号发送至同步驱动模块；同步驱动模块对平台位置信号处理转换为差分位置信号，并将差分位置信号发送至曝光控制模块；曝光控制模块对差分位置信号处理转换为同步控制信号，并将同步控制信号发送至图形切换模块、激光控制模块；图形切换模块基于同步控制信号确定图形切换周期，并按照图形切换周期完成图形切换，激光控制模块确定图形切换后激光器同步开启的持续时间，结合图形切换周期确定脉冲信号的占空比，并通过脉冲信号控制激光器；本发明提供的技术方案能够有效克服光刻图形质量较低、光刻图形容易失真的缺陷。
一种直写式光刻曝光图形补偿方法

[发明专利]一种高精度二维运动系统的补偿方法-CN202211228069.0在审
发明人： 王运钢;章广飞;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明涉及运动控制，具体涉及一种高精度二维运动系统的补偿方法，运动控制系统设定运动系统移动至理想坐标系内的期望坐标点，先判断期望坐标点落在理论标靶阵列LCS中的位置，再从应用补偿表中获取对应的变换矩阵MMS，利用变换矩阵MMS计算出期望坐标点在二维坐标序列MCS中的实际坐标点；运动控制系统根据实际坐标点在X轴、Y轴所处位置，分别从X轴运动偏差补偿表、Y轴运动偏差补偿表中获取相应的偏差补偿值，利用线性插值法计算出最终补偿值，并叠加至实际坐标点上生成最终坐标点；本发明提供的技术方案能够有效克服对二维运动系统运动的补偿精度较低，且补偿算法较为固定，导致设备精度指标无法满足高精度生产要求的缺陷。
一种高精度二维运动系统补偿方法

[发明专利]一种大型PCB矢量图的Web端处理方法-CN202211229010.3在审
发明人：李慧怡;王运钢;章广飞;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G06F16/54 文献下载
摘要：本发明涉及PCB矢量图处理，具体涉及一种大型PCB矢量图的Web端处理方法，浏览矢量图文件时，采用不同的缩放级别将矢量图文件分割为像素图，形成不同缩放级别的图片矩阵，将图片矩阵加载至画布上并进行画布渲染；拖拽矢量图文件时，仅渲染局部矢量图形，通过拖拽操作对矢量图形进行移动，实现局部浏览整体的效果；标记矢量图文件时，人工框选渲染图中的特征信息，对特征信息区域经过坐标系互相转换后得到PCB坐标，服务器基于PCB坐标从矢量图文件中拾取相关数据，并经过坐标系互相转换后重新渲染至屏幕画布中；本发明提供的技术方案能够克服现有技术所存在的浏览大型PCB矢量图时的浏览速度较慢，对人员的专业水平要求较高的缺陷。
一种大型 pcb 矢量图 web 处理方法

[发明专利]一种多波长激光混波照明光路结构-CN202211079548.0在审
发明人：李文静;章广飞;王运钢;薛业保 -专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑；每一激光器后部均分别设置有一光棒，所有光棒平行设置；激光器发射出的激光进入本激光器后部的光棒，由所述光棒的出光面照射出的激光照射至所述透镜组；本发明的多波长激光混波照明光路结构，解决现有技术中在光刻时多波长的激光耦合后功率过大导致易损坏光学元件的问题。
一种波长激光混波照明光结构

[发明专利]一种DMD直写混波曝光方法-CN202211079934.X在审
发明人：章广飞;王运钢;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种DMD直写混波曝光方法，沿DMD扫描方向，将DMD分割成若干独立微镜区，相邻的独立微镜区之间不相交；将若干不同波长的入射光，分别照射至DMD上各独立微镜区内；各独立微镜区反射的不同波长入射光，随DMD扫描，依次照射至被感光面上同一感光区；各独立微镜区反射的不同波长入射光，在被感光面上同一感光区依次叠加相同的曝光图形；经过感光面上的上一感光区的独立微镜区，随DMD扫描，进入下一感光区并进行曝光，本感光区获得与上一感光区相同或不同形状的曝光图形；本发明的DMD直写混波曝光方法，解决现有技术中DMD多波混合直写曝光中存在的多种波长入射光光路耦合不便的问题。
一种 dmd 直写混波曝光方法

[发明专利]一种高效LED与激光光源的光路混光结构-CN202211079932.0在审
发明人：李文静;章广飞;王运钢;薛业保 -专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效LED与激光光源的光路混光结构，包括具有一小孔的反射镜、激光器、LED光源和混光组件；所述激光器设置在所述反射镜背面且将发射出的激光由所述小孔内照射出；所述LED光源与所述反射镜之间设置有第一透镜组，所述LED光源发射出的LED光线通过所述第一透镜组压缩后照射至所述反射镜的反射面上被反射，与由小孔内照射出的激光同步照射至所述混光组件上；所述混光组件包括依次设置的第二透镜组、光棒和第三透镜组；本发明的高效LED与激光光源的光路混光结构，解决现有技术中LED与激光器耦合效率低的问题。
一种高效 led 激光光源光路混光结构

[实用新型]一种用于激光直写光刻设备的激光功率计-CN202220324111.8有效
发明人：章广飞;王运钢;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于激光直写光刻设备的激光功率计，包括一侧开设小孔的半封闭壳体，以及设置于所述半封闭壳体内部的凹透镜组、光学衰减片和能量探头，激光从小孔射入依次经过凹透镜组和光学衰减片，到达能量探头。本实用新型结构简单、成本低廉，便于集成到原有激光直写光刻设备上，可以利用设备空闲的间隙时间实现功率测量，不影响设备的正常工作，实现在线测量；对于有闭环控制系统的设备，还可以将其连接至闭环控制系统，完成功率测量的同时，实现更多功能扩展。
一种用于激光光刻设备功率

[发明专利]一种基于高速光纤以太网络的超高速数据传输系统及方法-CN202210147711.6在审
发明人： 王运钢;章广飞;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G06F13/42 文献下载
摘要：本发明涉及数据传输，具体涉及一种基于高速光纤以太网络的超高速数据传输系统及方法，包括上位机、数据同步与分发模块，以及光学引擎上的数据处理板，上位机通过高速光纤以太网接口与多个数据同步与分发模块连接，数据同步与分发模块通过高速串行总线与多个光学引擎上的数据处理板连接，上位机上部署有用于和数据同步与分发模块通过高速光纤以太网接口进行通讯的通讯驱动模块，通讯驱动模块将数据从上位机发送至数据同步与分发模块；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的数据传输系统结构复杂、数据传输效率较低的缺陷。
一种基于高速光纤以太网络超高速数据传输系统方法

[发明专利]一种用于光刻机的对准镜头-CN202210148119.8在审
发明人：李文静;章广飞;王运钢;薛业保 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光刻机的对准镜头，由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3；第一透镜组G1和第二透镜组G2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组G3和第二透镜组G2构成高倍率镜头，分光镜/分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；三组透镜组的参数满足关系式F1/F2＝B1，F3/F2＝B2，其中F1为第一透镜组的焦距，F2为第二透镜组的焦距，F3为第三透镜组的焦距，B1为对准标识搜寻镜头的倍率，B1为高倍率镜头的倍率。本发明结构简单，两组镜头共用第一透镜组，结构得到简化，且两组镜头视场完全同轴；保证高分辨率的同时，能够快速搜寻到对准标识。
一种用于光刻对准镜头

[发明专利]一种用于光刻机的倍率内调镜头-CN202111575713.7在审
发明人：李文静;章广飞;王运钢;薛业保;张波 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G02B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光刻机的倍率内调镜头，由四组透镜组组合而成，从左到右依次为第一正透镜组G1、第二正透镜组G2、第三负透镜组G3、第四正透镜组G4，第二正透镜组G2为调节镜组；四组透镜组的参数满足关系式1F1/F34M，其中F1为透镜组G1的焦距，F34为透镜组G3和透镜组G4的组合焦距，M为镜头倍率；四组透镜组的参数满足关系式0F12L1，F1L1，其中L1为物面到第一正透镜组主面的距离，F1为透镜组G1的焦距，F12为透镜组G1和透镜组G2的组合焦距；四组透镜组的参数满足关系式F34L5，F4L5，其中L5为像面到第四透镜组G4主面的距离，F4为透镜组G4的焦距，F34为透镜组G3和透镜组G4的组合焦距。本发明调节方便，仅需将其中一枚镜片(第二正透镜组)沿光轴前后移动即可实现。
一种用于光刻倍率镜头

[实用新型]一种用于曲面材料直写光刻设备的背光照明装置-CN202122412139.5有效
发明人：章广飞;王运钢;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及背光照明装置，具体涉及一种用于曲面材料直写光刻设备的背光照明装置，包括真空吸盘和载盘，载盘底部固定有用于导入侧面光线，并在表面形成均匀光分布的匀光板，真空吸盘上固定有与匀光板侧面正对的条形光源，载盘上固定有橡胶座，橡胶座上放置有待刻曲面材料，匀光板包括靠近条形光源的近光面，与近光面相对的远光面，以及反射面、出射面，近光面、远光面和反射面上设有光线补偿机构；本实用新型提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的不便与直写光刻机进行固定连接、背光照明时会出现光分布不均匀的缺陷。
一种用于曲面材料光刻设备背光照明装置

[发明专利]一种适用于直写光刻机的高速数据传输系统-CN202111169407.3在审
发明人：章广飞;王运钢;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G11B7/0045 文献下载
摘要：本发明涉及数据传输系统，具体涉及一种适用于直写光刻机的高速数据传输系统，将多个数据处理板需要的数据进行集中，一次性从万兆光纤网输出，明显减少了总线抢占情况，并且通讯能力强、抗干扰能力强、稳定性好，有效提高了数据传输效率；数据同步与分发模块接收到数据后，按照预设子协议将不同数据数据处理板需要的数据转发至对应的数据处理板，并与平台位置信号比较，如果在该位置则数据处理板将数据发送至对应数字光调制器，实现了数据传输系统与无掩膜光刻的高同步性与实时性；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的无掩膜光刻数据传输效率较低的缺陷。
一种适用于光刻高速数据传输系统

[实用新型]一种基于TEC的大功率恒温控制系统-CN202122411922.X有效
发明人：章广飞;王运钢;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及恒温控制系统，具体涉及一种基于TEC的大功率恒温控制系统，温度检测模块，用于进行温度检测，并将采集到的温度信号发送至控制器；数控恒流源模块，向温控负载提供稳定驱动电流，并通过场效应管控制温控负载工作状态；电压采集模块，用于采集场效应管的工作电压信号，并将采集到的工作电压信号发送至控制器；数控恒压源模块，向场效应管、温控负载所在回路提供稳定电压，通过该稳定电压控制场效应管的电压；控制器，接收温度检测模块发送的温度信号、电压采集模块发送的电压信号，并向数控恒流源模块、数控恒压源模块发送控制信号；本实用新型提供的技术方案能够有效克服线性恒流控制方式中无法有效抑制系统发热的缺陷。
一种基于 tec 大功率恒温控制系统

[发明专利]一种基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法-CN202110604017.8在审
发明人：章广飞;王运钢;薛业保;李文静 -专利权人：安徽国芯智能装备有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及无掩膜光刻，具体涉及一种基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法，将第一时钟输入锁相环，得到具有稳定相位差的第二时钟，对第二时钟进行相位调节，并根据第二时钟的最终相位调节同步脉冲控制信号的输出时间，第二时钟分别向光源、图形发生器发送同步脉冲控制信号，确定图形发生器中的主同步机和副同步机，主同步机向副同步机发送同步数据包，副同步机与主同步机同步进行图形变换；本发明提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的无法对光源与图形发生器进行有效同步控制的缺陷。
一种基于光源图形发生器同步控制高速光刻方法

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