[发明专利]一种闪蚀药水及其制备方法在审
| 申请号： | 202211053621.7 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115323377A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王立中;陈修宁;李晨庆;黄志齐;王淑萍 | 申请（专利权）人： | 昆山市板明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 江苏海联海律师事务所 32531 | 代理人： | 王晓玲 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种闪蚀药水及其制备方法，闪蚀药水的各组分的浓度如下：硫酸的浓度为20‑160g/L；双氧水的浓度为10‑75g/L；双氧水稳定剂的浓度为0.1‑8g/L；阳离子表面活性剂为聚季铵盐，聚季铵盐的浓度为0.01‑0.5g/L；蚀刻添加剂为咪唑化合物，咪唑化合物的浓度为0.01‑1g/L；且聚季铵盐和咪唑化合物按质量比1：(1‑5)复配；其余为水。本发明可以有效改善闪蚀效果，提高精细图形线路的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 药水 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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