[发明专利]一种闪蚀药水及其制备方法在审
| 申请号： | 202211053621.7 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115323377A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王立中;陈修宁;李晨庆;黄志齐;王淑萍 | 申请（专利权）人： | 昆山市板明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 江苏海联海律师事务所 32531 | 代理人： | 王晓玲 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 药水 及其 制备 方法 | ||
1.一种闪蚀药水，其特征在于：包括硫酸、双氧水、双氧水稳定剂、阳离子表面活性剂、蚀刻添加剂和水组成，各组分的浓度如下：
硫酸的浓度为20-160g/L；
双氧水的浓度为10-75g/L；
双氧水稳定剂的浓度为0.1-8g/L；
阳离子表面活性剂为聚季铵盐，聚季铵盐的浓度为0.01-0.5g/L；
蚀刻添加剂为咪唑化合物，咪唑化合物的浓度为0.01-1g/L；
且聚季铵盐和咪唑化合物按质量比1：(1-5)复配；
其余为水。
2.根据权利要求1所述的闪蚀药水，其特征在于：所述硫酸的浓度为50-120g/L。
3.根据权利要求1所述的闪蚀药水，其特征在于：所述双氧水的浓度为15-50g/L。
4.根据权利要求1所述的闪蚀药水，其特征在于：所述双氧水稳定剂的浓度为0.5-5g/L。
5.根据权利要求1所述的闪蚀药水，其特征在于：所述双氧水稳定剂为对羟基苯磺酸或对羟基苯磺酸钠。
6.根据权利要求1所述的闪蚀药水，其特征在于：所述聚季铵盐为聚季铵盐6、聚季铵盐7、聚季铵盐11和聚季铵盐22中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的闪蚀药水，其特征在于：所述咪唑化合物为1-乙酰咪唑、1-咪唑乙酸、1-乙烯基咪唑和1-烯丙基咪唑中的至少一种。
8.根据权利要求1所述的闪蚀药水，其特征在于：所述水为去离子水。
9.一种根据权利要求8所述的闪蚀药水的制备方法，其特征在于：先量取去离子水到容器中，再分别称取配方量的其它组分，依次加入容器中，定容、搅拌，混合均匀即可。
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