[发明专利]动态随机存取存储器及其形成方法

摘要

一种动态随机存取存储器及其形成方法，其中方法包括：提供衬底，衬底具有相对的第一面和第二面，衬底包括若干有源区，每个有源区均包括若干字线区和若干沟道区；在每个字线区内形成字线栅沟槽；在每个字线栅沟槽内形成字线栅结构；自第一面向第二面的方向刻蚀部分沟道区，在衬底内形成第一开口；在第一开口的侧壁和底部表面形成内衬层；在内衬层上形成牺牲层；在牺牲层上形成第一封闭层，第一封闭层内具有释放口；去除牺牲层，在第一开口内形成空腔；在释放口内形成第二封闭层。通过牺牲层能够有效定义空腔的形成位置和形成尺寸，以提升空腔的均一性。而且通过调节内衬层的厚度、以及牺牲层的高度，能够使得空腔的形成位置和形成尺寸可控。