[发明专利]一种低氧致密超高纯砷棒的制备方法有效
| 申请号： | 202211007240.5 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115418719B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 陈方平;张吉林;刘允华;吴才顺;邹同贵 | 申请（专利权）人： | 峨眉山嘉美高纯材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/02 | 分类号： | C30B29/02;C30B11/00 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 614200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种低氧致密超高纯砷棒的制备方法，按照下以步骤进行：S1、准备升华管和成型模具；S2、超高纯砷块状料在升华管内于高温、氢气气氛下进行升华脱氧提纯处理；S3、经破碎后，装入成型模具；于高温、真空环境下的脱氧处理；S4、于高压、高温、惰性气体气氛下液化；S5、于高压、惰性气体气氛下，从下至上定向凝固结晶，完全凝固后，降至室温，泄压，在惰性气体气氛环境中，取出成型模具后，进行脱模，即可获得超高纯砷棒。本发明的一种低氧致密超高纯砷棒的制备方法，可有效降低成型的超高纯砷棒的氧含量；整个制备方法，工艺完整，流程简单，操作容易，保证成型的砷棒的纯度能够满足半导体材料行业发展的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低氧 致密 高纯 制备 方法 | ||
【主权项】：
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