[发明专利]一种半导体设备零部件加工用酸洗装置在审
申请号: | 202210970006.6 | 申请日: | 2022-08-12 |
公开(公告)号: | CN115041455A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 石小辉 | 申请(专利权)人: | 南通高米精密机械有限公司 |
主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00;H01L21/67 |
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地址: | 226000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体设备零部件加工用酸洗装置,包括酸洗箱,所述酸洗箱侧壁固定连接有固定架,所述固定架侧壁固定连接有安装板,所述安装板上安装有酸洗机构,所述酸洗机构包括转动连接在安装板侧壁的杆a,所述安装板侧壁固定连接有电机,所述电机输出端贯穿安装板侧壁并与杆a固定连接,所述杆a侧壁固定连接有杆b,所述杆b侧壁固定连接有杆c,所述杆c侧壁转动连接有杆d,所述杆d下端固定连接有固定块,所述固定块侧壁固定连接有放置框。本发明中的酸洗机构使得放置框内的二极管可以不断地被颠起,避免二极管相互堆叠在一起无法各个部分充分的与酸洗液接触,造成酸洗效果不理想,提高酸洗的效率和效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体设备 零部件 工用 酸洗 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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