[发明专利]横向同质异质结二极管器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202210946884.4 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN115483293A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 宁静;张弛;张进成;王东;马佩军;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L21/34 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 王海栋 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种横向同质异质结二极管器件及其制备方法，涉及微电子技术领域，包括：衬底；第一介质衬底层和第二介质衬底层，位于同层，且位于衬底的一侧；第一介质衬底层和第二介质衬底层相互接触；二维半导体材料层，位于第一介质衬底层和第二介质衬底层背离衬底的一侧；沿垂直于衬底的方向，二维半导体材料层的正投影至少部分与第一介质衬底层的正投影交叠，至少部分与第二介质衬底层的正投影交叠；第一欧姆电极和第二欧姆电极，位于同层，且位于二维半导体材料层背离衬底的一侧；第一欧姆电极和第二欧姆电极间隔排布。本申请能够简化二极管器件的制备，降低制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 同质 异质结 二极管 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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