[发明专利]一种具有红外长波选择发射特性的复合薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210940453.7 申请日: 2022-08-03
公开(公告)号: CN115287617A 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 张翔;方盈盈;赵九蓬;李垚;王伟东;艾夏;刘佳琪;刘成国 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学;北京航天长征飞行器研究所
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/30;C23C14/26;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/20;C22C19/05
代理公司: 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 代理人: 侯静
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种具有红外长波选择发射特性的复合薄膜的制备方法,它涉及一种复合薄膜的制备方法。本发明的目的是要解决现有材料发射率变化小、易受环境温度影响、难以连续制造和沉积速度缓慢的问题。方法:一、离子束轰击;二、膜层沉积,得到具有红外长波选择发射特性的复合薄膜。本发明制备的一种具有红外长波选择发射特性的复合薄膜能在高温下使用,薄膜红外波段发射率选择性能力基本与初始状态相同,该技术是一种低成本、安全、简单的薄膜制备技术;且在高温下光学性能不变,提高了器件的使用寿命,同时还降低了成本。
搜索关键词: 一种 具有 红外 长波 选择 发射 特性 复合 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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