[发明专利]一种锑化物超晶格甚长波红外探测器中抑制扩散暗电流的结构

摘要

基于锑化物超晶格的甚长波红外探测器，包括从下到上的以下结构：衬底，缓冲层，中长波欧姆接触层，甚长波波段吸收层，中长波波段势垒层，中长波波段接触层，顶盖层；缓冲层外延于所述衬底之上；中长波波段接触层称为P区，外延于所述缓冲层之上；甚长波波段吸收层称为π区，外延于所述中长波波段接触层P区之上；中长波波段势垒层，外延于所述吸收层之上；中长波波段接触层，外延于所述势垒层之上；本发明结构引入了高掺杂的吸收区进一步降低扩散暗电流以使红外探测器具备高综合探测率。