[发明专利]具有隔离基极接触区的垂直绝缘栅极电源开关在审
| 申请号： | 202210899865.0 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN115692466A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 保罗·M·摩尔;理查德·A·布兰查德;弗拉迪米尔·罗多夫 | 申请（专利权）人： | 帕可科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/423;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 江泰維 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有隔离基极接触区的垂直绝缘栅极电源开关。在具有沟槽绝缘栅极的垂直功率装置中，存在npnp分层结构。所述垂直栅极以合适栅极偏压接通所述装置，以在顶部电极与底部电极之间传导电流。在实例中，植入的n+源极区形成在p‑阱内的顶部表面中。在一些栅极之间，通过蚀刻打开上覆的电介质，以暴露所述p‑阱的分布式p型接触区。所述电介质也被打开以暴露所述n+源极区的区域。所述顶部电极金属直接接触所述暴露的p型接触区及所述n+源极区，以跨蜂窝阵列提供分布式发射极到基极短接，以在存在瞬态时改进装置性能。归因于所述p型接触区不邻接所述n+源极区，在沉积所述金属电极之前，所述p型接触区与所述n+源极区隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 隔离 基极 接触 垂直 绝缘 栅极 电源开关 | ||
【主权项】：
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