[发明专利]一种硅片的安全运输装置及其工作方法

摘要

本发明公开了一种硅片的安全运输装置及其工作方法，包括总装框架、承载机构、固定机构和转运机构，所述承载机构包括包括若干个架设在总装框架内的硅片托盘，所述固定机构包括检测部和机械固定部，所述检测部包括配合硅片托盘架设的视觉检测组件，所述机械固定部包括配合硅片托盘的膨胀固定组件，所述膨胀固定组件包括若干个与硅片托盘一一对应的膨胀单元，所述膨胀单元包括单元框架和贴合设置在单元框架内壁上的膨胀囊，所述转运机构包括配合承载机构的机械臂组件，本发明的优点在于通过膨胀囊抵触硅片，既可以保证硅片被固定，避免运输过程中发生损坏，同时又不会对硅片表面进行刚性抵触，有效避免了硅片表面可能发生的压裂和磨损。