[发明专利]一种硅外延设备的冷却装置及硅外延设备在审
| 申请号： | 202210880423.1 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115354393A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 石磊;王娟;刘柱;万胜强;李勇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B25/02;F25D1/02;F25D17/02;B01D35/027 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;彭依 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅外延设备的冷却装置，包括水箱，所述水箱上设有出水管及回水管，冷却水从出水管输出再从回水管输入水箱，还包括控制模块，所述水箱顶部设有供水管，底部设有排水管，所述供水管及排水管上均设有阀门，所述阀门与控制模块连接，并由控制模块控制阀门的启闭。本发明还公开了一种硅外延设备。本发明具有结构简单、能够及时更换水箱内冷却水，保证冷却水质量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 设备 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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