[发明专利]一种连杆型双臂直驱真空机械手在审
| 申请号： | 202210866297.4 | 申请日： | 2022-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN115122376A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张强;边弘晔;张鹏;徐方;董铭洋;韩远志;张天笑 | 申请（专利权）人： | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B25J18/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 杨旭 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体生产行业领域，具体地说是一种连杆型双臂直驱真空机械手，包括机械手外壳、腔室法兰连接板、升降驱动件、升降驱动件安装板、双轴手臂驱动件、与双轴手臂驱动件配合设置的一轴手臂及二轴手臂。本发明通过将控制器组件设置于机械手外壳的内腔底面上，可无需在腔室中额外安装外部控制柜，充分满足腔室体积的要求；使升降驱动件设置于升降驱动件安装板的底面上，并位于机械手外壳的内腔中靠近控制器组件的位置，也更有效减小了机械手整体的体积，并实现驱控一体化的结构。本发明实现了机械手和控制器组件的集成，同时可大幅度减小机械手本体的体积，有效增大双轴手臂驱动件的升降行程，提升工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连杆 双臂 真空 机械手 | ||
【主权项】：
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