[发明专利]一种气体流量计的MEMS芯片封装结构有效
| 申请号： | 202210864868.0 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN115231510B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 宁文果;方明东;周小勇;许磊;陈栋梁;谢东成;张岩;李志华;周睿颖;邹子纯;王传伟;马云龙;陈宾;陈陈;夏玉 | 申请（专利权）人： | 微纳感知（合肥）技术有限公司;深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;G01F15/00;G01F15/14;G01F15/18 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 任晓;浦彩华 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请实施例期望提供一种气体流量计的MEMS芯片封装结构，MEMS芯片封装结构包括：主管材，内部形成有主气路，主管材的管壁设置有第一气流口和第二气流口，主管材的外表面一体成型有封装侧壁，第一气流口和第二气流口位于封装侧壁围设的区域内，封装侧壁的远离管壁的一端具有开口；壳盖，封闭封装侧壁的开口，壳盖和封装侧壁在主管材的外表面构造出具有安装腔的支气路封装体，安装腔连通第一气流口和第二气流口并形成支气路；用于检测气体流量的MEMS芯片，设置于安装腔中。本申请实施例，装配比较简单；可以通过模具来有效控制结构尺寸的精确性，产品的批量一致性较好；封装结构更加紧凑和小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 流量计 mems 芯片 封装 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于微纳感知（合肥）技术有限公司;深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司，未经微纳感知（合肥）技术有限公司;深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210864868.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于多模态信息的婴儿啼哭诉求检测方法
- 下一篇：一种矿山安全测量辅助装置
