[发明专利]一种适用于MEMS压力传感器的带温补电桥平衡结构在审
| 申请号： | 202210853844.5 | 申请日： | 2022-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115183918A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 孙晓丽;刘同庆;林智敏;孙爱鑫 | 申请（专利权）人： | 无锡芯感智半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾朝瑞 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种适用于MEMS压力传感器的带温补电桥平衡结构，其可以调节零点电压和满量程电压，实现温度补偿，提高了MEMS压力传感器的测量精度，同时简化了电桥结构，降低了生产工艺成本并提高了可靠性，其包括由第一压敏电阻R1、第二压敏电阻R2、第三压敏电阻R3、第四压敏电阻R4构成的惠斯通电桥，其特征在于：所述惠斯通电桥与地GND之间串联有第一限幅电阻R；所述第四压敏电阻R4的两端并联有第一调零电阻Ro‑，或者所述第一压敏电阻R1的两端并联有第二调零电阻Ro+。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 mems 压力传感器 带温补 电桥 平衡 结构 | ||
【主权项】：
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