[发明专利]一种集成式六自由度微机械量子陀螺仪

摘要

本发明提出了一种集成式六自由度微机械量子陀螺仪，包括机械单元和电路控制单元；机械单元包括导向支撑、质量块和两个电极端盖，质量块采用中心设有圆柱形通孔的圆饼状介质材料结构，其两个端面上分别设置有六个栅极式矩形力敏电容；电路控制单元包括数字驱动模块、正弦波发生器、电路解析模块、测量模块和计算机模块，该电路控制单元集成在质量块的一个端面上。本发明不需要磁芯结构参与测量章动角，且避免了现有技术分立式结构在装配过程中容易产生误差的缺陷，显著提高了陀螺仪稳定性。