[发明专利]一种粉体材料声共振–气相沉积装置及实现方法

摘要

本发明公开了一种粉体材料声共振–气相沉积装置及实现方法，包括气相沉积反应容器、声共振设备和固定装置；气相沉积反应容器能同时作为粉体材料的容器和气相沉积反应器，气相沉积反应容器通过固定装置设在声共振设备上，声共振设备能使气相沉积反应容器内的粉体材料处于振动翻滚状态。本发明将声共振与气相沉积相结合，不仅可通过声共振解除粉体团聚实现粉体材料的分散，同时可增强粉体材料与气相沉积源蒸汽的气‑固传质强化，最终实现粉体材料表面气相沉积材料的均匀包覆。