[发明专利]一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法

摘要

本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘干方法，清洗烘干设备包括机架、机械手、上料装置、清洗装置、烘干装置和下料装置，清洗装置和烘干装置上分别设置相应的旋钮机构和定位机构，可以在将晶圆存放盒进行清洗和烘干时，将晶圆存放盒的盖子和盒体分开，使二者相对独立不盖合，可以对盒体和盖子进行充分的清洗和烘干，保证清洁程度，同时晶圆存放盒烘干过程中通过提高氮气环境，并在真空环境下，可以降低液体沸点，提高烘干效率，避免缝隙中水分残留，具有优异的烘干效果。