[发明专利]成膜装置、成膜方法及蒸发源单元在审
| 申请号： | 202210801643.0 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115700293A | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 田村博之;风间良秋;原雄太郎;高桥龙也;松本行生 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56;C23C14/52;H10K71/16 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种容易从罩取出蒸发源的成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。成膜装置使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜。容器形成内部空间，该内部空间包括收容蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间。罩构件覆盖容器的至少一部分。容器以在收容空间的上表面设置第一方向上的宽度比收容空间窄的扩散空间的方式形成内部空间。罩构件包括第一罩和第二罩，第一罩在容器中至少覆盖划定收容空间的侧面的第一侧壁，第二罩转动自如地支承于第一罩，在容器中至少覆盖连接壁，该连接壁将第一侧壁及划定扩散空间的侧面的第二侧壁连接。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 蒸发 单元 | ||
【主权项】：
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