[发明专利]成膜装置、成膜方法及蒸发源单元

说明书

本发明提供一种容易从罩取出蒸发源的成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。成膜装置使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜。容器形成内部空间，该内部空间包括收容蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间。罩构件覆盖容器的至少一部分。容器以在收容空间的上表面设置第一方向上的宽度比收容空间窄的扩散空间的方式形成内部空间。罩构件包括第一罩和第二罩，第一罩在容器中至少覆盖划定收容空间的侧面的第一侧壁，第二罩转动自如地支承于第一罩，在容器中至少覆盖连接壁，该连接壁将第一侧壁及划定扩散空间的侧面的第二侧壁连接。

技术领域

本发明涉及成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。

背景技术

在有机EL显示器等的制造中，通过从蒸发源放出的蒸镀物质附着于基板而在基板形成薄膜。在专利文献1中，作为蒸发源的结构，公开了设有收容蒸镀物质的收容部和供气化的蒸镀物质扩散的扩散部的结构。而且，专利文献1公开了使扩散部的宽度比收容部的宽度窄的结构。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2018-003122号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

然而，在成膜装置中，蒸镀源有时由罩等覆盖。从蒸镀物质的补充、检修的容易性等观点出发，希望容易从罩等取出蒸镀源。关于这一点，在上述现有技术那样扩散部与收容部的宽度不同的蒸发源中，覆盖蒸镀源的罩的结构还有改善的余地。

本发明提供一种容易从罩取出蒸发源的技术。

【用于解决课题的方案】

根据本发明的一方面，提供一种成膜装置，所述成膜装置使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜，其特征在于，具备：

容器，所述容器形成内部空间，该内部空间包括收容蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间；及

罩构件，所述罩构件覆盖所述容器的至少一部分，

所述容器以在所述收容空间的上表面设置第一方向上的宽度比所述收容空间窄的所述扩散空间的方式形成所述内部空间，

所述罩构件包括：

第一罩，所述第一罩在所述容器中至少覆盖划定所述收容空间的侧面的第一侧壁；及

第二罩，所述第二罩转动自如地支承于所述第一罩，在所述容器中至少覆盖连接壁，该连接壁将所述第一侧壁及划定所述扩散空间的侧面的第二侧壁连接。

另外，根据本发明的另一方面，提供一种成膜方法，其特征在于，包括使用上述的成膜装置在基板上进行成膜的成膜工序。

另外，根据本发明的另一方面，提供一种蒸发源单元，用于使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜，其特征在于，具备：

容器，所述容器形成内部空间，该内部空间包括收容蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间；及

罩构件，所述罩构件覆盖所述容器的至少一部分，

所述容器以在所述收容空间的上表面设置第一方向上的宽度比所述收容空间窄的所述扩散空间的方式形成所述内部空间，

所述罩构件包括：

第一罩，所述第一罩在所述容器中至少覆盖划定所述收容空间的侧面的第一侧壁；及

第二罩，所述第二罩转动自如地支承于所述第一罩，在所述容器中至少覆盖连接壁，该连接壁将所述第一侧壁及划定所述扩散空间的侧面的第二侧壁连接。

【发明效果】

根据本发明，能够容易地从罩取出蒸发源。